Mots-clés
Diamètre : 125 mm Orientation : P<100> Année de Fabrication : Substrat Epaisseur : 625+/-25 µm Résistivité : 0.005-0.010 Ω.cm Croissance : Dopant : B EPI Epaisseur : 5.6-6.4 µm Dopant : B Résistivité : 1-1.5e15 Ω.cm
Diamètre : 125 mm Orientation : P<100> Année de Fabrication : 1998 Substrat Epaisseur : 625+25-40 µm Résistivité : 20-40 Ω.cm Croissance : CZ Dopant : PH
Diamètre : 125 mm Orientation : P<100> Année de Fabrication : 1998 Substrat Epaisseur : 625+/-25 µm Résistivité : 11.0-16.0 Ω.cm Croissance : CZ Dopant : B
Diamètre : 125 mm Orientation : P<100> Année de Fabrication : 1998 Substrat Epaisseur : 625+/-40 µm Résistivité : 11.0-25.0 Ω.cm Croissance : CZ Dopant : B
Diamètre : 200 mm Orientation : P<100> Année de Fabrication : 1998 Substrat Epaisseur : 725+/-20 µm Résistivité : 1-2 Ω.cm Croissance : CZ Dopant : B EPI Epaisseur : 2.85-3.15 µm Dopant : B Résistivité : 9-11e15 Ω.cm
Diamètre : 125 mm Orientation : P<100> Année de Fabrication : Substrat Epaisseur : 625+/-20 µm Résistivité : 3.0-5.0 Ω.cm Croissance : CZ Dopant : B
Diamètre : 200 mm Orientation : P<100> Année de Fabrication : Substrat Epaisseur : 625+25-40 µm Résistivité : 33-75 Ω.cm Croissance : CZ Dopant : B
Diamètre : 200 mm Orientation : P<100> Année de Fabrication : Substrat Epaisseur : 725+/-15 µm Résistivité : 1-2 Ω.cm Croissance : CZ Dopant : B